仪器型号：JEOL JAMP-9510F

主要技术参数：

俄歇空间分辨率：8 nm@ 1 nA, 20 kV

元素灵敏度：≥ 840 kcps @10 nA,10 kV  

主要功能及用途：

俄歇电子能谱仪属于表面分析仪器，可获得样品极表面元素种类、成分及化学态信息。其分析元素范围广，可定性、半定量分析除H和He以外的所有元素，尤其对轻元素敏感；分析深度极浅，能提供固体样品表面3~10原子单层（0.4～6 nm）的成分信息；

分析区域范围广，可分析材料中 Φ 10 nm~5 mm区域内的成分与化学态；可实现元素的三维分析，不仅有点、线、面分析，而且借助氩离子刻蚀可以实现深度剖析。

基于以上特点，AES数据可单独使用或与SEM-EDS、TEM-EDS和XPS结果相互佐证，广泛应用于：电池/半导体结构分析，膜厚度分析，纳米颗粒/纳米管成分分析，晶格应变分析，多层膜扩散机制探究，界面反应机理以及缺陷形成机制研究等，同时可对微区腐蚀、污染情况进行分析，并有望为催化材料表面活性物质的分布提供依据。

联系人：葛琳