化合物组分与物性分析测试子平台
仪器型号：PE NEXION 5000
主要技术指标：
检出限（ng/L）：
Be 0.29，In 0.09，Bi 0.72
灵敏度（Mcps/(mg/L)）：
Be 33.98，In 611.53，Bi 274.24
氧化物离子产率：：156CeO+/140Ce+ 2.3%
分辨率（u）： 0.70
短期稳定性：2.6%
主要功能及用途：
在半导体器件和化学品制造的分析中，痕量元素杂质的控制对于性能具有至关重要的作用。该要求促使相关供应商提供超净的材料， 从而对具有出色干扰消除能力，提供极低背景等效浓度(BEC)的分析仪器提供了机会。在这款四重四极杆系统中，离子束在Q0(四极杆离子偏转器) 聚焦和筛选至Q1(第 一个四极杆质量分析器)并过滤。在Q2 (四极杆通用池)内反应并得到控制与筛选，在Q3(第二个四极杆质量分析器)中对待分析离子进行筛选。这种组合方式使系统能在热等离子体下获得小于1ppt背景等效浓度(BEC)的能力。
联系人：徐勤超
