仪器型号：JSM-7001F (SEM) 、XFlash 5010（EDS）、X-Trace（μ-XRF）

主要技术指标：

分辨率：1.2 nm @ 30 kV; 3.0nm @ 1 kV

放大倍数：10-50万倍；放大倍数和尺寸测量示值误差≤±5%

加速电压：0.5 kV-30 kV

大束流高分辨：5 nA，WD10 mm,15kV时分辨率3.0 nm

束流强度：1 pA -200 nA

EDS：Mn元素Ka分辨率优于123 eV

EDS：最大输出计数率达 400,000 cps

μ-XRF：X射线光管参数  电压50 kV，电流600 μA

μ-XRF：分析元素范围Na (11)-Am (95)

μ-XRF：元素检测限10 ppm-100 ppm，依元素种类而定

μ-XRF：束斑尺寸≤ 35μm

扫描电镜具备制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大等特点，广泛应用于冶金、机械、陶瓷、化工、半导体、电子器件、纺织、生物学等行业领域。SEM—μ-XRF—EDS联用可实现在观察样品形貌的同时，并对感兴趣的微区（点、线、面）实现多种常量、微量元素直接定性、半定量和无损分析。它可实现痕量元素的高灵敏度分析，将样品表面元素含量检测限提高至ppm级；且对于表面呈凹凸结构的样品，可获得立体感较强的图像。重点应用于以下样品的表征：绝缘材料（如：分子筛、有机金属骨架、玻璃等）；磁性材料；纳米材料；合金、粉煤灰、陨石等含微量金属元素的样品；化石、瓷器、字画等现代考古样品。