仪器型号：BRUKER DIMENSION ICON

主要技术参数：

X-Y方向扫描范围：90 μm × 90 μm，Z方向扫描范围：10 μm

垂直方向噪音基底：<30 pm RMS, 在合适的环境及典型的成像带宽(达到625 Hz)

X-Y定位噪音(闭环)：≤0.15 nm RMS，典型成像带宽(达到625 Hz)，Z传感器噪音水平(闭环)

整体线性误差(X-Y-Z)：< 0.5% 典型值

样品台尺寸/夹具：210 mm真空吸盘样品台；夹具，直径 ≤210 mm,厚度 ≤15 mm

电动定位样品台(X-Y轴)：单向2 μm重复性；双向3 μm重复性

振动隔绝：整体式气动减震台；声音隔绝：可隔绝环境中85 dBC的持续噪音

仪器使用范围：

扫描探针显微镜(SPM)应用了—种特殊的先端显微技术,实现在纳米尺度下来测试材料的物理特性，同时还可以呈现样品的表面形貌。通过探针与样品接触时，它们原子之间存在极微弱的作用力，从而获得样品的物理信息，如：表面形貌（空气和液体环境测试）、定量纳米力学性质（PFQNM）、样品表面电场/磁场分布扫描（EFM/MFM）、样品表面电势（KPFM）。

联系人：王越