俄歇电子能谱仪(AES)现已全面开放、进入正式运行阶段,用户即日起可登录中国科学院仪器设备共享管理平台(http://samp.cas.cn/)预约使用。
AES和X-射线光电子能谱仪(XPS)同属于表面分析技术;AES可获得比XPS更浅、更表面的元素种类、成分及化学态信息。其优势在于分析区域可调控,小至几十纳米的点、大至毫米级的面,都可进行分析;可像扫描电镜(SEM)一样对样品定位,收集感兴趣微区表面形貌信息(图1(a)),同时获得样品微区表面元素分布情况(图1(b))和价态信息(图2)。此外,借助氩离子刻蚀还可以实现深度剖析(图3)。但是,目前AES不可实现准原位或者原位表征;需要真空传输样品,请与中心联系。
AES数据可单独使用或与SEM-EDS、TEM-EDS和XPS等结果相互佐证,广泛应用于:电池/半导体结构分析[1,2],膜厚度分析[3],纳米颗粒/纳米管成分分析[4,5],晶格应变分析[6],多层膜扩散机制探究[7],界面反应机理[8]以及缺陷形成机制[9]研究等,同时可对微区腐蚀、污染情况进行分析,并有望为催化材料表面活性物质的分布提供依据。
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[1] Zhong XH, et al. Applied Surface Science, 2021,553:149564.
[2] Guo LQ, et al. Applied Surface Science, 2018,444: 48–55.
[3] Thomas Orvis, et al. Journal of Vacuum Science & Technology A, 2019, 37(6):061401.
[4] K. Dawkins, et al. Applied Surface Science, 2015, 345:249–255.
[5] Alexey Dronov, et al. Applied Surface Science, 2018, 434: 148–154.
[6]Zhang LX, et al .Science, 2018, 361(6401): 494-497.
[7] Yan XL, et al. Applied Surface Science, 2016, 364: 567–572.
[8] Yan K, et al. Applied Surface Science , 2016, 390: 260–265.
[9]Qao WQ, et al. Physical Chemistry Chemical Physics, 2016,18:4019-4025.
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