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论文编号: O120010083
第一作者所在部门:
中文论文题目: Early stages of silicon nitride film growth studied by molecular dynamics simulations
英文论文题目: Early stages of silicon nitride film growth studied by molecular dynamics simulations
论文题目英文:
作者: 郭向云 Pascal . Brault.
论文出处:
刊物名称: Surface Science
: 2001-01-01
: 488
: 1
: 133
联系作者:
收录类别:
影响因子: 2.198
摘要:
英文摘要:
外单位作者单位:
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