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论文编号: |
122214O120130141 |
第一作者所在部门: |
704组 |
中文论文题目: |
X射线反射法和椭圆偏振法结合测量热处理溶胶-凝胶ZrO2薄膜的结构和光学参数
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英文论文题目: |
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论文题目英文: |
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作者: |
贾红宝
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论文出处: |
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刊物名称: |
材料科学与工程学报
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年: |
2013
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卷: |
31 |
期: |
1 |
页: |
46-49 |
联系作者: |
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收录类别: |
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影响因子: |
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摘要: |
采用溶胶-凝胶法在硅片基底上制备ZrO2薄膜,在150℃ ~750℃范围内不同温度下进行热处理,研究了热处理对膜层结构和光学性能的影响。X射线反射用于膜层厚度和界面粗糙度分析,结果表明热处理温度由150℃升至750℃,膜层厚度由常温状态下的112.3nm减小到34.0nm,表面和界面粗糙度均小于2nm。以X射线反射法测得的膜层厚度为初始值,对椭圆偏振仪的测量结果进行拟合,得到不同温度的膜层折射率,结果表明热处理温度为550℃时膜层折射率达到最大值。X射线反射作为直接的膜层厚度测试手段,所得结果为准确分析椭偏光谱提供了参考。 |
英文摘要: |
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外单位作者单位: |
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备注: |
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