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论文编号: |
122214O120120149 |
第一作者所在部门: |
704组 |
中文论文题目: |
利用透射光谱与X射线反射谱精确测量溶胶-凝胶TiO2薄膜薄膜厚度和光学常数
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英文论文题目: |
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论文题目英文: |
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作者: |
贾红宝
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论文出处: |
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刊物名称: |
光学学报
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年: |
2012
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卷: |
32 |
期: |
08 |
页: |
0831001-1-0831001-6 |
联系作者: |
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收录类别: |
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影响因子: |
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摘要: |
在洁净K9玻璃基底上沉积TiO2 薄膜,将透射光谱和X 射线反射光谱相结合分析获得膜层的厚度和光学常数。X 射线反射谱拟合能精确得到膜层的厚度、电子密度及表面和界面粗糙度,其中膜层厚度的数值为透射光谱的分析提供了重要参考。基于ForouhiBloomer色散模型拟合膜层透射光谱,得到薄膜折射率和消光系数,理论
曲线和实验曲线吻合良好。对于同一样品,两种光谱拟合分析得到的厚度数值非常接近,差值最大为4.9nm,说明两种方法的结合能够提高光学分析结果的可靠性。 |
英文摘要: |
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外单位作者单位: |
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备注: |
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