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论文编号: 122214O120120149
第一作者所在部门: 704组
中文论文题目: 利用透射光谱与X射线反射谱精确测量溶胶-凝胶TiO2薄膜薄膜厚度和光学常数
英文论文题目:
论文题目英文:
作者: 贾红宝
论文出处:
刊物名称: 光学学报
: 2012
: 32
: 08
: 0831001-1-0831001-6
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收录类别:
影响因子:
摘要: 在洁净K9玻璃基底上沉积TiO2 薄膜,将透射光谱和X 射线反射光谱相结合分析获得膜层的厚度和光学常数。X 射线反射谱拟合能精确得到膜层的厚度、电子密度及表面和界面粗糙度,其中膜层厚度的数值为透射光谱的分析提供了重要参考。基于ForouhiBloomer色散模型拟合膜层透射光谱,得到薄膜折射率和消光系数,理论 曲线和实验曲线吻合良好。对于同一样品,两种光谱拟合分析得到的厚度数值非常接近,差值最大为4.9nm,说明两种方法的结合能够提高光学分析结果的可靠性。
英文摘要:
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